液壓油在機組循環使用過程中，會混入冷卻水、環境水汽，同時帶入金屬磨屑、粉塵、氧化膠質等物質。水分與雜質進入液壓系統，會影響元件配合狀態。真空濾油機針對液壓油介質，采用前置防護?加熱?真空分離?多級過濾的整套工藝，完成油液內部水分、氣體、固體雜質處理。
待處理液壓油經由輸油泵抽吸進入設備，首先流經吸油粗過濾單元。粗濾攔截油液內部大顆粒雜質，如焊渣、金屬碎屑、塊狀油泥，減少硬質顆粒進入油泵，降低泵體部件磨損風險。大顆粒雜質被截留，細小顆粒、乳化水分隨油液繼續向后輸送。
油液進入加熱腔體完成溫度調節。液壓油粘度區間跨度較大，調整油溫改變介質流動性，讓包裹在油相內部的微小水滴更易向外擴散。溫度設置結合液壓油牌號控制，規避溫度過高帶來油品組分變化。升溫后的油液送入真空分離腔體。

真空機組持續對腔體抽氣，形成低壓環境。油液通過腔體內部噴淋或者填料布液結構，被分散成薄層油膜，增大油液與真空空間接觸面積。油中的游離水、乳化水在低壓條件下轉變為水蒸氣，油液內混入的空氣同步析出。水蒸氣被抽離腔體后進入冷凝單元，冷凝轉為液態水匯集存儲，定期向外排放；析出的氣體隨真空管路排出設備。
經過脫水脫氣后的油液從真空腔體底部流出，依次通過預過濾、精過濾兩級單元。預過濾承接中等粒徑顆粒與膠質沉積物，分擔后端過濾負荷；精過濾截留細小固體顆粒，降低油液顆粒污染物占比。各級濾筒配套壓差監測，壓差發生變動時，開展濾芯維護處置。
完成整套工藝處理的液壓油，可輸送回液壓油箱，開展多次循環處理。污染程度偏高的液壓油，單次循環指標變動有限，需要多次整機循環，逐步調整介質狀態。
工藝運行過程需要管控多項參數。進油流量不宜過大，流量偏高會縮短油液在真空腔體停留時長，水汽析出不夠充分。油溫、真空度與介質粘度相互匹配，粘度偏高的液壓油，適當下調處理流量。
工藝配套保護機制，真空腔體設置液位監測構件，避免油液被吸入真空管路；溫控保護規避介質超溫；油路壓力監測，及時反饋濾芯堵塞情況。
工藝適配離線循環模式，將濾油機和液壓油箱外接管路連通，油箱內油液持續經過設備循環。部分工況可接入系統旁路，機組不停機狀態下開展持續凈化。

運維要點：定期排放冷凝單元積存水體；依據壓差讀數處置各級濾芯；檢查真空管路各密封點位，減少外部空氣滲入；處理不同牌號液壓油時，更換濾芯并清洗濾筒，規避介質互相摻混。
該工藝依靠物理方式完成凈化，不添加藥劑，適用于工程機械、注塑設備、冶金液壓站等場景在用液壓油處理。對于含水占比很高的液壓油，可在工藝前端搭配聚結單元，先行分離大部分游離水，再送入真空腔體，減輕真空單元工作負荷。